CoreMorrow N11.X3.5KZマイクロ真空リニア圧電モーター

圧電モーターは圧電セラミックスをモーター駆動とし、特殊な機械構造設計を採用し、圧電セラミックスドライバの微小運動をミリ線または360°角運動に変換する。運動方式に応じて、モーターはリニア圧電モーターと回転圧電モーターに分けることができる。現在の工業とハイテク分野の高精度自動化制御需要の中で、圧電電機は大ストローク、高精度、小サイズなどの優位性を持ち、半導体技術、光学機器設備、医療生物と顕微鏡設備、精密加工設備、航空宇宙などの分野に広く応用されている。

N11.X3.5KZは真空超小型体積リニア圧電モーターであり、圧電セラミックスの微小運動を粘滑原理を用いてミリ長のストロークに変換する。15×15×7 mm ^ 3の小さなサイズがあります。長い行程は3.6 mmで、単独で使用したり組み合わせて使用したりすることができ、1-3次元運動を行うことができ、運動速度は2 mm/sに達することができる。10 ^-6 mbarと10 ^-9 mbarの真空バージョンがあり、密閉空間や環境でのミリストローク調整に最適です。

特徴

•ストローク3.6 mm

•1～3つの軸を選択可能

•小型軽量

•最大2 mm/sの速度

•静止時のセルフロック

アプリケーション＃アプリケーション＃

N11.X3.5KZ線形圧電モーターは、超分解能イメージングにおけるサンプル移動、マイクロナノデバイス及び製造、走査電子顕微鏡（SEM）サンプル操作、ナノフォーカス及び走査、能動光学、集積回路製造及び試験、マイクロナノCT、大型電子ビーム直写（EBL）、高真空サンプルの高精度アライメントと同調姿勢など。

技術データ