CoreMorrow N56リニア圧電モーターは圧電マイクロ駆動技術を採用し、圧電マイクロ変位アクチュエータを利用して高精度の位置決めと運動技術を実現した。圧電アクチュエータの電界作用下の微変形を機械的構造変換することにより、微運動線形ミリ段ストローク…
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