S30シリーズは開環二次元θX、θY運動圧電クイックステアリングミラーであり、高動態応用のために設計されている。空荷共振周波数は15kHzまで高く、小さいサイズは空間的に限られた応用に適している。
特徴
θX，θY偏向運動
コンパクトな構造
オープンループ、高解像度
高度で動的なアプリケーションに適しています
適用＃テキヨウ＃
S30は、レーザ処理の高速走査および安定したレーザ経路など、様々な光路調整に適している。
2モデルバージョン
S30シリーズには、S 30.T 1とS 30.T 2の2種類のモデルがあります。2つのモデルの変位はそれぞれ3 mradと1.5 mradで、両方のバージョンの空荷重共振周波数は15 kHzに達する。また、それらの体積は非常にコンパクトで、外径は15.6ミリ、高さは30ミリ、21ミリしかありません。
S30.T1
可動軸：θx、θy
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：1.5/±0.75 mrad
分解能：0.02μrad
空荷重共振周波数：15 kHz
共振周波数@B.21.5×3 mmミラー：10 kHz
El容量：0.7μF/軸
材料：チタン合金、鋼
質量：20 g
駆動：3チャネル
高さ（L）：15.6/21 mm
S30.T2
可動軸：θx、θy
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：3/±1.5 mrad
分解能：0.03μrad
空荷重共振周波数：15 kHz
共振周波数@B.21.5×3 mmミラー：10 kHz
El.容量：1.6μF/軸
材料：チタン合金、鋼
質量：30 g
駆動：3チャネル
高さ（L）：15.6/30mm
傾斜角度VS駆動電圧
