S23.ZT1Kシリーズ圧電偏向ミラーはθx、θy偏向/ピッチとZ軸昇降プラットフォームであり、プラットフォームの中心に貫通孔がある。この製品は体積が小さく、構造がコンパクトである。実現可能な偏向範囲は1.5 mrad、Z軸直線運動行程は10μm、この製品は高解像度と応答速度を持つオープンループバージョンです。干渉スイープと位相シフトの理想的な選択です。
特徴
•θx，θy偏向、Z軸上下
•中心貫通孔：フタ10 mm
•Z方向ストローク10μm
•偏向角度は1.5 mrad/軸に達することができる
•優れた温度安定性
適用＃テキヨウ＃
•レーザー走査/ビーム偏向
•アクティブおよびアダプティブ光学系
•光学フィルタ
•安定ビーム
センタースルーホールとハイダイナミック
S23.ZT1K圧電偏向ミラーは多軸傾斜プラットフォームであり、製品体積は20×19.5 mmであり、θxとθy軸に1.5 mradの偏向を実現し、Z軸に10μmの揚力を実現することができる。非常に高い分解能とサブミリ秒応答速度を持つため、三脚構造設計は広い動作温度範囲を有する。テーブルの中心には直径10 mmの貫通孔があり、光透過用途、例えば光ろ過に適している。
レンズアダプタ搭載可能
S23.ZT1Kはレンズアダプタに合わせてレンズを取り付け固定することができる。
技術パラメータ
型番：S23.ZT1K
運動タイプ：θx、θy、Z
θx，θy偏向角（0 ~ 120 V）：1.2 mrad（≒240″）
Z方向線形ストローク（0 ~ 120 V）：8μm
θx，θy偏向角（0 ~ 150 V）：1.5 mrad（≒300″）
Z方向線形ストローク（0 ~ 150 V）：10μm
θx，θy偏向分解能：0.02μrad（<0.01″）
Z方向変位分解能：0.1 nm
空荷重共振周波数：θx 6.9/θy 6.9/Z 16.5 kHz
アイドルステップ時間：0.5 ms
静電容量：0.5μF/軸
材料：鋼
重量：80 g
推奨コントローラ
S23.ZT1K圧電偏向ミラーはθx、θy偏向とZ軸上昇のための開環運動機構である。正確な運動制御を実現するために、3チャネルE 70.3 Kオープンループ圧電制御器を搭載することができます。
