差速駆動圧電ナノポジショニングプラットフォーム

P16圧電級はその体積が小さく、変位が大きいことで知られている。その外形寸法は60×60×20mmしかない。変位は50μmまたは100μmを選択することができる。非常に小さな体積と低い高さは、より大きな変位を提供します。

P16XY二次元移動圧電ステージの中心にφ20mmの貫通孔があり、光学応用に最適である。

最近では、CoreMorrowはP16シリーズをアップグレードし、構造と外観を改良して統合し、信頼性も大幅に向上しています。

荷重を固定するには、表面上の距離が2 mmの4つのM 3ねじ穴、または距離が16mmの4つのM 2ねじ穴を移動することにより、荷重を固定することができます。機械コネクタは取り付けが容易である。

P16圧電ステージは特殊な運動ステージである。差動駆動制御を使用します。2次元運動ではありますが、駆動には一定の電圧を持つ3チャネル圧電コントローラが必要です。これは、下図に示すように、各軸の動きが2組の圧電スタック差速アクチュエータによって駆動されるからです。

差動駆動により、P16圧電段の開/閉ループ変位曲線は非差動駆動圧電段とは若干異なる。150 Vの駆動電圧を例に、X軸方向の閉ループ変位と制御電圧との関係を下図に示す。Y軸方向の変位と電圧曲線はX軸方向と同じである。

上図から分かるように、制御電圧が75 Vの場合、移動した位置は電圧を印加する前の初期位置に戻る。

型番：P16.XY100S/K

軸：XY

ストローク範囲：80または±40μm/axis@120V

ストローク範囲：100または±50μm/axis@150V

センサ：SGS

穴径：φ20 mm

閉ループ/開ループ分解能：10/5 nm

閉ループ線形度：0.4%F.S。

閉ループ反復性：0.1%F.S。

ピッチ/ヨー/ロール：<25μrad

プッシュ/テンション：30 N

剛性：0.5 N/μm

空荷重共振周波数：400 Hz

閉ループ/開ループ空荷重ステップ時間：10/1.6 ms

無負荷閉ループ動作周波数：100Hz@10%シフト

無負荷閉ループ動作周波数：10Hz@100%シフト

荷重：1.5kg

容量：3.6μF/軸

材料：鋼、アルミニウム

質量：220g

注：P16.XY50S/K変位は50μmまたは±25μm

•顕微鏡イメージング

•表面検査

•干渉/測定

•正確な位置決め

•光学

•マイクロオペレーション