P16シリーズはXY軸圧電局である。この機構は拡大するように設計され、中心に孔径を有する。そのストロークは105μmに達することができ、開環と閉環はオプションである。四角形の可動プラットフォームは設置が容易で、外部の機械構造に接続されています。
特徴
•最大105μmの変位
•負荷能力1.5 kg
•高精度
•開ループと閉ループのオプション
•真空バージョンが使用可能
しゅうはすうふかきょくせん
高剛性大負荷能力
P16シリーズ圧電スキャナーは機構増幅設計原理を採用し、高性能圧電セラミックスを内蔵している。スキャナーは50μmまたは100μmのストロークを実現することができる。一体化構造設計はXY軸運動の結合がなく、優れた構造は1.5 kgの荷重を担持でき、空荷共振周波数は400 Hzに達する。
P16.XYバージョンは中心対称運動モードであり、定電圧出力チャネルを持つ3チャネル圧電コントローラが必要である。
P16.XY圧電スキャナのスルーホールサイズは20 mmであり、そのサイズが小さく、負荷が大きく、動的であるため、顕微イメージングやその他の分野に広く応用されている。
適用＃テキヨウ＃
P16.XY圧電局は、その大きな負荷能力と高周波のために光路調整実験に用いられる。ロードされたレンズは正確なXY軸運動を実行します。
技術データ
型番：P 16.XY 100
可動軸：XY
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：80μm/±40μm
ストローク範囲（0 ~ 150 V）：100μm/±50μm
閉ループセンサ：SGS
穴径：フタ20 mm
閉ループ/開ループ分解能：10/5 nm
閉ループ線形：1%F.S。
閉ループ反復性：0.5%F.S。
ピッチ/ヨー/ロール：<25μrad
プッシュ/テンション：30/30 N
剛性：0.5 N/μm
空荷重共振周波数：600 Hz
閉ループ/開ループアンインストールステップ時間：10/1.6 ms
負荷能力：1.5 kg
容量：3.6μF/軸
材料：鋼、アルミニウム
質量：220 g
