P60.X250圧電局はX軸運動であり、防振設計を採用し、高信頼性圧電セラミックスを内蔵し、摩擦フレキシブルヒンジガイド機構がなく、高解像度、大ストロークなどの特徴を有する。
特徴
・X軸運動
・±165μmストローク範囲
・防振設計
・高温・低温バージョン
・閉ループバージョンの高精度
高信頼性、高安定性
P60.X250は圧電アクチュエータによって駆動され、高度に信頼性の高い圧電ナノポジショニングプラットフォームであり、±165μmの変位を実現することができる。優れた構造設計には摩擦がなく、高い操舵精度があります。
閉ループバージョンには高解像度と高速応答の歪みセンサ（SGS）が搭載されており、このセンサは駆動機構の適切な位置に設置され、コントローラに高帯域幅、高精度の電圧フィードバックを提供する。E 70シリーズコントローラとともに使用され、高い安定性を有する。
パラメータ
型番：P 60.X 250
可動軸：X
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：±130μm
ストローク範囲（0 ~ 150 V）：±165μm
センサタイプ：SGS
閉ループ/開ループ分解能：12/5 nm
閉ループ線形：0.1%F.S。
閉ループ反復性：0.04%F.S。
ピッチ/ヨー/ロール：1μrad
プッシュ/テンション：300/30 N
運動方向剛性：1.2 N/μm
空荷重共振周波数：490 Hz
空荷重ステップ時間：80/40 ms
負荷能力：0.6 kg
電解容量：24.6μF
動作温度：-40～+80℃
防振：半正弦波15 g、11 ms
後ピーク鋸歯波20 g、11 ms
材料：鋼、アルミニウム
質量：950 g
推奨コントローラ
P60.X250圧電段は、E 70シリーズ圧電コントローラと組み合わせて使用することができ、アナログとデジタル制御、サイズがコンパクトで、性能が一致している。
