シュリンク型圧電アクチュエータ

収縮型圧電アクチュエータとは、電圧印加後に収縮運動変位を発生させることができる圧電アクチュエータをいう。収縮型圧電アクチュエータはナノスケールのステップ分解能を有し、ミリ秒乃至サブミリ秒の高速応答を提供することができる。機械包装ケースの外側にねじ山があり、外部機械構造との取り付け固定に便利である。それは主にビームの偏向、光路の調整、レンズフレームの調整、または雄ねじの取り付けによる線形と角運動の応用に用いられる。

収縮式圧電アクチュエータは、開ループ（位置決めフィードバックセンサなし）と閉ループ（集積位置決めフィードバックセンサ）に分けることができる。オープンループでは、アクチュエータの解像度は無限に高く、制御装置のノイズによってのみ制限されます。しかし、圧電セラミックスのヒステリシスとクリープ特性のため、その繰り返し性と安定性は低い。しかし、閉ループバージョンでは、ヒステリシスやクリープなどの問題が解決されます。