真空版XYZ 65 N 81 K 26は圧電スクリューによって駆動されるXYZ三次元運動プラットフォームであり、ミリレベルの大ストローク位置調節を実現でき、ストロークは25.4 mm/軸に達することができ、ナノレベルの変位増分を実現することができる。精密位置決め、半…
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