CoreMorrow ピエゾ ミラー マウント/スティック スリップ原理によるミラー調整マウント

ピエゾ応用技術の発展と進歩に伴い、ピエゾ製品はますます多くの実験環境で使用されています。 ミラー調整マウントは、多くの研究室で非常に一般的です。 従来の光学調整マウントは、マウントのたわみ角度を調整するためにねじ付きネジの手動調整を使用しており、外観は下の図のようになっています。 価格・コストは安いが、操作が不便、精度が低いなどの弊害が多い。

ピエゾマウント / ピエゾミラー 調整マウント

ミラー調整マウントの精度を向上させるために、CoreMmorrowはピエゾ駆動技術を適用しています。 ピエゾ技術の統合は、ミラー マウント製品に質的な飛躍をもたらしました。ピエゾ マウントもピエゾ技術の統合により時代の要求に応じて登場し、このタイプの調整マウントの調整の利便性と精度が大幅に向上しました。 CoreMorrow T25N81 シリーズのピエゾ ミラー マウントは、ピエゾ スティック スリップ マイクロモーション技術の原理を採用し、±5° の調整範囲、大きな角度調整、および 0.7μrad の超高感度を備えています。

特徴
• 2D θx、θy たわみ運動
• サブマイクロラジアンの角度分解能
• 電源オフ保持(セルフロック)
• 電気制御、柔軟な操作、小さなスペースに制限されない

 

T25N81 シリーズ ピエゾ ミラー マウントの技術パラメータ
モデル: T25N81K8
スナップオンミラー径:25.4mm
調整可能な自由度: θx、θy
感度: 0.7μrad
調整範囲:±5°

 

スティックスリップ原理によるピエゾ駆動ねじ

ピエゾマウントと従来のマウントの違いは何ですか? キーはドライブレバーにあります。 T25N81 シリーズのピエゾ ミラー マウントは、従来のミラー マウントの 2 つのドライブ シャフトのネジを、CoreMorrow が開発した高精度の電子制御ピエゾ ネジに置き換えます。 ピエゾネジは、ピエゾスティックスリップ駆動原理技術を採用し、ピエゾ高精度ドライブと調整マウントを完全に組み合わせています。

ピエゾスティックスリップ駆動原理

ピエゾ スティック スリップ駆動モーターは、精密な設計と機械的連携により、ピエゾ セラミックの直線運動をスクリューの回転に変換します。 この設計では、ピエゾ セラミック アクチュエータの両端にあるペンチがネジと接触し、両側でネジを固定します。 圧電セラミック アクチュエータは、急速に伸縮して回転運動を実現します。

ピエゾスクリューとピエゾスティックスリップ原理の模式図

2 つのピエゾ モーター (ピエゾ ネジ) が 2D 偏向ピエゾ ミラー マウントに組み込まれています。 ピエゾ ネジは、マウントだけでなく、他のモーション プラットフォームにも組み込むことができます。

 

真空版ピエゾネジ

CoreMorrow は、通常の環境で使用するためのピエゾ スクリューを開発および製造するだけでなく、手動で調整できず、高精度のモーション コントロールを必要とする特殊な環境で使用できるように、真空環境でのモーション コントロール アプリケーション用の真空バージョンも開発および製造しています。

真空版ピエゾネジ

ピエゾマウントコントローラー-E53.C4K

E53.C4K シリーズ ピエゾ コントローラーは、CoreMorrosw が少量のアプリケーション向けに開発および設計したピエゾ ミラー マウント専用です。 小型サイズながらDC24V電源を採用し、セレクタースイッチにより2台の2Dピエゾミラーマウントを駆動できます。

特徴
• ピエゾ スクリュー/ピエゾ ミラー マウントなどのピエゾ モーターの駆動に使用されます。
• 4 チャンネル バージョンは、2 つの 2D ピエゾ マウントまたは 4 つのピエゾ ネジを駆動するように切り替えることができます
• PC ソフトウェア制御
• 24VDC/1A 電源

 

ピエゾスクリューコントローラの技術パラメータ
モデル: E53.C4K
チャネル数: 4
電源:DC24V/1A
静的消費電力: <5WD/A
コンバーター: 16bit
通信インターフェース:USB、RS-422、RS-232
使用温度:0~50℃
ピエゾスクリューコネクタ:RJ11サイズ:150×80×27.5mm^3
重量:0.36kg

 

上記のピエゾ ミラー マウントに加えて、CoreMorrow は、φ50mm ミラー、φ100mm ミラー、またはケージ構造で使用されるピエゾ ミラー マウントなど、さまざまなピエゾ ミラー マウントも開発および設計しています。

T100N81K13-B2 ピエゾマウント(φ100mmミラー用)

T25N81K8-C1 ピエゾミラーマウント (ケージ構造用)