ピエゾ技術の発展に伴い、研究者は、小さな変位と高精度のシーン要件に満足しなくなり、高精度でより大きな変位ストロークの要求が常に提案されています。 このようなピエゾ製品も、ピエゾ技術の発展と進歩に伴い、時代の要請に応じて登場しています。 CoreMorrow XYZ72SN81K13 シリーズのピエゾ マクロ マイクロ コンビネーション ステージは、圧電スティック スリップ原理と圧電マイクロ モーション技術の組み合わせを採用して、XY 軸のミリ レベルの大きなストロークを満たし、Z 軸のナノ メートル レベルの高精度を実現します。
特徴
・レンズの横方向の調整に適したXYミリストローク
・光学フォーカス調整に適したZマイクロトラベル
・透過光用途に適したΦ35mmの開口部
・電圧駆動制御、高速応答と便利な操作
マクロとミクロの組み合わせ
XYZ72SN81K13 は、圧電スティック スリップ原理と圧電微動技術を完全に組み合わせたマクロ ミクロ コンポジット方式を採用しています。 XYストローク±5mm/軸の大ストロークマクロ移動を実現し、Z軸は微動で調整可能、ストロークは8μmに達します。
XYミリ移動モーション、ピエゾスクリュー駆動
XY 軸は、CoreMorrow が設計および製造したピエゾ スクリューによって駆動されます。 スティックスリップの原理を利用しており、大きなストロークと高精度が特徴です。 中空のスライド プラットフォームと組み合わせると、ピエゾ スクリューの直線運動がスライド プラットフォームの XY 軸の動きに変換されます。
Zマイクロメートル移動モーション、ピエゾダイレクトドライブ
Z軸はピエゾダイレクトドライブ構造を採用し、ミクロンレベルの移動量とナノレベルの精度を実現。 駆動電圧は動作ストロークと直線関係にあります。
ケージ構造の取付穴を装備
XYZ72SN81K13 は、ケージ構造でのアプリケーション用に特別に設計されています。 構造には、ケージ構造に直接統合できるケージ構造取り付けスルーホールが装備されています。 ケージ構造でレンズを運ぶなど、任意の光学要素を運ぶために使用でき、XY軸の移動調整により、平面内のレンズ焦点の中心位置を正確に制御でき、Z軸の微動により正確なナノスケールが可能になります 光軸上の焦点位置の微調整。
XYZ72SN81K13は、光学用途に適したφ35mmアパーチャ構造を採用。
Z軸変位と電圧曲線
XY 方向の駆動原理とは異なり、Z 方向を駆動する場合、発生する変位は駆動電圧に比例します。
パラメーター
モデル: XYZ72SN81K13
アクティブ軸: XYZ
XYマクロストローク：±5mm/軸
Zピエゾストローク：8μm@150V
XY分 増分: <30nm
クローズド/オープンループ分解能 (Z): 0.3/0.1nm
センサー (Z): SGS
アンロード共振周波数(Z): 2.5kHz
耐荷重：縦500g/横200g
