P70.Z200圧電スキャナは、体積が小さく、ストロークが大きく、負荷が大きいZモーションスキャナである。機構増幅原理を採用し、高信頼性圧電セラミックス駆動の無摩擦フレキシブルヒンジガイド機構を内蔵している。対物レンズやサンプルを駆動してナノ精度の…
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