高精度マイクロメーターは測定範囲がミクロンまたはミリで、測定精度がナノメートル級の機器で、インダクタンス、容量、レーザーに分けることができる。主に航空宇宙、航空、自動車、工作機械、光学デバイス加工、半導体などの工業制御分野の高精度長さ（深さ、高さ、厚さ、直径、テーパ）測定、振動測定、微変位検出などに応用される。
CoreMorrow小体積超精密容量式センサは容量プローブと制御ボックスの2つの部分から構成されている。容量プローブは非接触式で、サイズはΦ10 mm×18.5 mm、容量プローブは0 ~ 500μmの範囲内の微小変位を測定でき、解像度は1.25 nmに達する。制御ボックスのサイズはわずか105×26×66 mm ^ 3で、単チャンネル出力、体積は非常に小さく、集積しやすく、下図のように。
特徴
・測定範囲0 ~ 500μm
・1.25 nmまでの分解能
・非接触測定
・小型で統合が容易
典型的な用途
容量式センサの利点
1.安定性が良い。容量式センサの容量値は通常、電極材料とは無関係であり、これは低温系を有する材料の選択に有利であり、熱がほとんど発生しないため、安定性にほとんど影響を与えない。
2.構造が簡単です。容量式センサーは構造が簡単で、高精度を確保しやすく、小型センサーにすることができる。高温、低温、強磁性、その他の劣悪な環境などの特殊な環境に使用できます。
3.動的応答が良好である。プレート間の静電引力は小さく、その運動部分は小さく薄くすることができるため、固有周波数は高く、動的応答時間は短く、数メガヘルツの周波数で動作することができ、特に動的測定に適している。
4.非接触測定。非接触測定を使用すると、作業面の粗さが測定に与える影響を減らすことができます。
システム構成
容量マイクロメータは、容量プローブ/容量センサとセンシング信号処理制御モジュールの2つの部分から構成されている。
（1）容量プローブ/容量センサ
容量式プローブ（容量式センサ）は円筒形であり、平行板原理を採用し、被測定物体と容量式プローブの間の距離が変化した場合、この距離変化を相応の公差変化に変換することができる。
技術データ
（2）センシング信号処理制御モジュール
センサ信号処理制御モジュールは、特にCoreMorrow容量センサに適合するように設計されており、その主な機能は容量センサの変位信号を電気信号に変換することである。小型で、実験室や工業応用などのさまざまな応用に最適です。
技術データ
また、CoreMorrowにはモジュラー型容量式センサ信号処理制御モジュール-E09.CAPがあり、1 ~ 12のチャネルを提供することができ、異なるニーズに応じてより多くの測定チャネルをカスタマイズすることもできる。
CoreMorrow E09.CAPキャパシタセンサ信号処理モジュールの詳細については、0451-86268790、18944636468（Wechat ID）にお電話ください。
