ピエゾ電気位相シフタ
CoreMorrow P77圧電位相シフタ
圧電移相器は移相干渉計の中で最も重要な部品である。圧電移相器はその分解能が高く、応答が速く、制御が容易で、性能が安定しているなどの利点で広く応用されている。
しかし、圧電セラミックスにもその非線形誤差と小さな変位という欠点があり、これがその応用範囲が広い理由である。
この問題に対して、CoreMorrowはPZT電圧駆動回路を設計し、増幅特性を持つ可撓性ヒンジ構造を用いて移相アクチュエータを駆動することで移相を実現した。光学、下位機械プログラミングとソフトウェア開発プラットフォーム上でデータ処理プログラムを作成することを結合し、位相シフト精密制御測定装置を開発した。
PZTの非線形性、クリープ、ヒステリシスが位相シフト精度に与える影響を効果的に解決するために、この装置は電圧シフトによる閉ループフィードバック制御を採用し、適応マイクロスケール駆動位置決め制御を実現し、非線形性を大幅に改善し、外部影響と干渉を低減し、位相シフトの測定精度を大幅に向上させた。
CoreMorrow圧電位相シフタは3組の圧電スタックによって駆動され、直径106 mmまでの開口レンズに使用でき、変位は20 um以上に達することができる。実験により、圧電移相器は比較的に良い効果があり、制御精度はサブナノメートル級に達することができ、測定精度を大幅に高めることができ、位相測定技術において広範な実用価値があり、すでに各種現代干渉計に広く応用されていることが証明された。
ホログラフィー干渉測定用圧電位相シフ
ホログラフィー干渉法では、物体の変位と変形の大きさと方向を決定する必要がある。リアルタイム検出の過程では、物体の変位と変形方向を直ちに迅速に判断する必要がある。これを判断する方法はたくさんありますが、もっと面倒なものもあれば、複雑なものもあれば、特殊な設備が必要なものもあれば、直感的ではないように見えるものもあるなど、ホログラフィー干渉術には多くの不便をもたらしています。
圧電位相シフタは上記のすべての問題を解決することができる。
リアルタイムホログラフィー干渉測定では、物体の変位と変形方向を区別するために、圧電位相シフタを参照光路上に配置し、これは実際には圧電効果を利用してその空間位置を制御する小さな鏡である。私たちが使用している移相器は106ミリまでの鏡面直径を持ち、鏡面が0 ~ 120 Vの範囲で20ミクロン往復移動するように制御電圧を調整します。圧電位相シフタは、基準光路を変化させ、このときの干渉縞の移動方向に基づいて物体の変位と変形方向を判断するために用いられる。この方法は簡単で便利で直観的で、物体の変位と変形方向を迅速に信頼できる。
