P 77シリーズ圧電移相器は移相応用の光学検査のために設計され、ストローク範囲は50µm、負荷能力は10 kgに達することができる。P 77.30 S/K 140はP 77シリーズの1つです。φ140 mmの中心貫通孔を有し、位相シフトストロークは32μmに達し、分解能は0.5 nmである。各種光学レンズとレンズを測定する水平レーザー干渉計に適している。負荷能力は5 kgに達する。
特徴
•ストローク範囲は0 ~ 16/32μm
•穴径Φ140 mm
•5 kgまでの負荷
•カスタマイズ
適用＃テキヨウ＃
•顕微鏡イメージング
•表面検査
•位相シフト/干渉/測定
•正確な位置決め
•位相シフタ
•光学キャプチャ
10 Vステップ電圧と変位曲線
適用＃テキヨウ＃
P77.30S/K140圧電位相シフタは水平レーザー干渉計のために設計され、大開口フレームなどをロードし、サブナノスケールのステップ位相シフタは、光学検出装置に高精度のコア部品を提供し、光学検出精度を著しく向上させる。
技術データ
可動軸：Z
ストローク範囲（0 ~ 120 V）：12.8/25.6μm
ストローク範囲（0 ~ 150 V）：16/32μm
穴径：φ140 mm
サイズ：210×210×56 mm
分解能：0.5 nm
ピッチ/ヨー/ロール：<15μm
むふかきょうしん
周波数：200 Hz
積載量：5 kg
電気関係の
容量：14.4/28.8μF
材料：アルミニウム、鋼
質量：4.2 kg
操作
温度：-20 ~ 80℃
制御：1/2
チャネル
ケーブル長：1.5m
