マイクロ振動シミュレーション用CoreMorow XD500圧電傾斜テーブル

様々な光学用途において、開口部の増加と分解能の向上、あるいは応用環境の変化に伴い、様々な微小振動は光学系に悪影響を与え、例えばイメージングや光学通信の品質を大幅に低下させる。このような微小振動に対応する防振システムを設計する必要がある。

光学負荷により適した防振システムを設計するためには、微振動を十分に理解し、研究し、防振性能に対して実際と十分な実験検証を行う必要がある。したがって、高信頼性と高精度の微振動シミュレータは、防振システムを設計するために必要なツールの1つになります。また、光学負荷システム全体の重量が大きいため、微振動シミュレータの負荷能力は非常に優れている必要があります！

微小振動シミュレーションまたは摂動シミュレーションの応用環境の特徴に基づいて、CoreMorowは先進的な圧電ナノ測位と制御技術を利用して振動シミュレーションのための多種の圧電傾斜プラットフォームを開発し、生産した。また、各モデルは精度が高く、荷重が大きいという特徴があり、振動シミュレーションの要求を完全に満たすことができる。XD 500シリーズの圧電傾斜台もその一つだ。

XD 500は、θxとθyの2軸偏向を有する圧電段である。その積載能力は10 kgに達することができ、傾斜角は±0.29 mrad、分解能は0.1μradに達することができる。XD 500は特に大負荷偏向応用のために設計され、大負荷偏向運動実験、例えば空間摂動シミュレーション、振動シミュレーションなどに非常に適している。