N 31リニア圧電モーターはCoreMorrowが開発、設計、生産、販売しているナノサイズ精密運動製品である。25 mm、50 mm、100 mmの3つのオプションストローク範囲があります。高精度ラスタ増分エンコーダをセンサとして使用して、高精度のモーションポジショニングを完了することができます。
N 31リニア圧電モーターは圧電セラミックスによって駆動され、人間の歩行と似た駆動原理を用いて、圧電セラミックスによるリニアマイクロ変位をリニア圧電モーターの大ストローク、高精度運動に変換する。このシリーズのリニア圧電モーターは閉鎖力が大きく、意外な接触後に閉ループが自動的にリセットされるなどの利点がある。
XYZ 3 D大ストロークと高精度位置調整の様々な応用における需要を満たすために、CoreMorrowはN 31シリーズモータに基づく3 D線形圧電モータを専門に構築した。次の図を参照してください。
MXYZ 3 Dリニア圧電モータ
このXYZ 3 Dリニア圧電モータは、3つのN 31モータに基づいている。XYZ軸ストロークはそれぞれ50 mm、50 mm、100 mmである。製品のXYZ方向の測定精度は1μm以内、移動速度は4 mm/sを超えることができます。
テスト中、XYZ 3 Dモータの各軸運動はCoreMorrow E 71シリーズの圧電サーボコントローラによって駆動され、制御パラメータはサポート上位機ソフトウェアによって設定される。
試験中のXYZ 3 Dリニア圧電モーター
テスト結果
0.5 kg荷重、20.8°C、31%湿度で以下の結果を得た。
以上のパラメータから、X、Y、Z方向の運動繰り返しはそれぞれ0.645μm、0.611μm、0.681μmに達することができ、高精度な位置決めの要求を満たすことができる。
適用＃テキヨウ＃
N 31シリーズの1次元から3次元の線形圧電モーターはその高精度のため、半導体テスト、ウエハテスト、ナノ印刷、ナノ計量、工業精密位置決めなどの分野に非常に適している。
カスタム設計
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