CoreMorowマクロマイクロ圧電線形アクチュエータ、分解能はサブナノメートル級に達した!

CoreMorow N 82.16 Kシリーズの圧電線形アクチュエータはコンパクトな構造設計を採用し、マクロ手動調整とマイクロ圧電調整を1つにした。使いやすく、統合が容易です。高精度ラック調整、移動テーブル駆動、微調整などの用途に使用できます。

特徴

•マクロ手動と微圧電調整の組み合わせ

•9.53 mmを手動で微調整

•微圧電調整16μm

適用#テキヨウ#

•バックミラー調整フレーム

•運動プラットフォームドライバ

•科学的研究

マクロ-ミクロ結合

N 82.16 Kはマクロ手動調整とミクロ圧電調整を組み合わせた線形圧電アクチュエータである。マクロ手動調整ストロークは9.53 mmに達することができ、マイクロ圧電調整ストロークは16μmである。使用中、mm級の大ストロークは手動で粗く調整することができ、その後、圧電調整によりnm級の変位と精度を実現することができ、これは大ストロークと高精度の要求を持つ応用に適している。

マクロ手動調整

N 82.16 Kのマクロ手動調整はハウジング上の細いネジによって実現され、線形マクロ調整は手動回転ローレット部品によって実現される。

マクロ手動調整はネジの加工精度に高い要求がある。

マイクロ圧電調整

PZTはN 82.16 Kに集積され、それに電圧を印加することにより圧電線形アクチュエータの微圧電調整運動を実現する。

ロックナット

マクロ手動調整では、調整後に位置をロックできるロックナットが装備されています。

小型で統合しやすい

N 82.16 Kの小さいサイズは、例えばレンズ調整ブラケットに組み込むのに適している。レンズの粗調光学素子の微調整を実行でき、二重効果がある。

また、単軸または多軸駆動運動プラットフォームなどにも使用できます。

真空互換性

N 82.16 Kは特殊真空材料、真空互換導線、コネクタなどを採用している。真空互換バージョンであり、真空中で使用することができる。

マイクロ圧電変位と電圧曲線

推奨圧電制御装置

CoreMorow E 53シリーズの圧電コントローラの使用を推奨します。体積が小さく、帯域幅は10 kHzまであります。アナログ信号やデジタル信号で制御することができます。

パラメータ

手動運動範囲:9.53 mm

圧電運動範囲(0 ~ 150 V):16μm

圧電駆動電圧:0 ~ 150 V

容量:0.8μF

動作温度:-25~85℃

材料:鋼