圧電ナノポジショニングステーションの名称は、その駆動源と機能の組み合わせに由来する。「圧電」とは、駆動源としてPZT圧電セラミックスを用いて運動を発生する駆動源、「ナノポジショニング」はその機能であり、その移動端はナノスケールの精密なステップ…
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