新製品｜双方向回転ステージN 61.E/K 56-B

科学研究と工業の高精度な運動と制御応用に対する需要の中で、圧電テーブルはその体積が小さく、ストロークが大きく、精度が高いなどの利点で選ばれた。圧電テーブルの動作原理は圧電セラミックスの逆圧電効果による微小変位を機械平面に変換するマクロ線形または角運動であり、半導体技術、光学機器設備、医療バイオ技術、精密加工設備、航空宇宙などの分野に広く応用できる。

今日は360°双方向回転ステージN61.E/K56-Bをお勧めします。圧電セラミックによって駆動される圧電ステップ直接駆動ステージです。それは特殊な機械設計によって双方向360°回転を生成することができ、回転分解能は1μradに達する。その薄い外観と溝の底部の設計は、統合のための理想的な選択肢になります。製品は下図のようになります。

特徴

360°双方向回転運動

5°/sの高速化

PCソフトウェアで制御できます

カスタム真空バージョン

適用＃テキヨウ＃

1.干渉：CoreMorrow圧電回転テーブルは絞りの孔径の大きさを調整することができ、絞りの形状を調整することにより、光の位相と干渉効果を制御することができ、それにより画像の調整と最適化を実現することができる。

フェナントレンソ干渉計の原理図（注：画像はネットワークから）

2.マイクロ流体制御：回転圧電局は流体制御ポンプとして使用することができる。その体積が小さく、精度が高く、応答速度が速いという利点から、マイクロ調剤、マイクロ注射などの流体輸送を連続的に制御することができる。

注意：画像はネットワークから

3.絞りスイッチ：圧電回転テーブルを用いて絞り制御を行うことができ、有効に絞り開口内の直径を制御し、穴を通る光伝送を調節することができる。光学系における撮像品質を向上させるだけでなく、光透過率を変えることで半導体の導電性にも影響を与えることができる。

注意：画像はネットワークから

技術データ

推奨コントローラ

H01.6K-B4光ファイバ位相変調器を駆動するE 53系圧電制御器を推奨します。シングルチャネル圧電コントローラで、電源24 VDC/1.5 A、帯域幅10 kHz、アナログまたはデジタル制御、オン/オフループを選択できます。コンパクトな構造で統合が容易で、小規模なアプリケーションのために開発されています。

E53.D1E−J E53.C1K−J圧電制御器は360°回転テーブルを駆動するように設計されている。シングルチャネル出力、デジタル制御、閉ループサーボまたは開ループ制御を採用し、体積が小さく、105×103×30.1 mm ^ 3しかなく、構造がコンパクトで、集積しやすい。

新入荷｜H 01.6 K-B 4小型繊維延伸機

光ファイバはフレキシブルな光ファイバであり、光信号を伝送するために一般的に高純度のガラスやプラスチックで作られている。光の全反射特性に基づいて、光信号は光ファイバ内部で十分に反射されてデータを伝送され、それによって光信号は長距離、高速、大容量で伝送することができ、しかも光ファイバの材料は電磁干渉を受けないため、信号の安定性と信頼性を維持した。

光の全反射透過原理（注：画像はネットワークから）

圧電セラミック光ファイバ位相変調器は、光ファイバを延伸することにより入力光信号の位相を調整し、光ファイバ内の光信号の伝播を変化させる。光ファイバセンサ、光ファイバハイライトセグメント、光波長調整などの分野に広く応用できる。

CoreMorrow小型光ファイバ位相変調器H01.6K-B 4

CoreMorrowは常に当社の光ファイバ位相変調器製品カタログを更新しており、今日はH 01.6 k-B 4をお勧めします。その動作原理は、3つの圧電セラミック積層体を120度で均一に置き、ヒンジを外側に膨張させ、外径を膨張させ、それから外径溝に巻き付けられた光ファイバを引き伸ばすことです。その径方向ストローク範囲は3μm、繊維延伸長は15μm/circle、径方向出力は120 N、空荷重共振周波数は3000 Hzで、全体のサイズは小さく、PXS 30×13 mmであり、製品外観は以下の通りである。

特徴

公称径方向ストローク範囲3μm

繊維延長長15μm/ループ

0.3 nmまでの分解能

3000 Hzまでの空荷重共振周波数

小型で軽量

適用＃テキヨウ＃

圧電ファイバ位相変調器は、ファイバ延伸用途に特化して設計された圧電運動機構である。光ファイバ延伸により光強度、光波長、光遅延を調整することができます。

1.光ファイバセンサ

光ファイバセンサは、被測定物の状態を測定可能な光信号に変換するセンサである。その基本的な動作原理は、光ファイバを介して光源から変調器に光を送信し、変調器を用いて光の性質（強度、波長、周波数、位相、偏光状態など）を変化させることである。そして光ファイバを介して光電デバイスに光を送信し、そして、復調器によって測定されたパラメータを取得する。圧電セラミック繊維の位相変調器は延伸可能である

注意：画像はネットワークから

2.光学合成開口イメージング

光学開口イメージング技術は一定の空間位置に基づいて複数の小開口光学ミラーまたは光学系を配置し、光路、ミラー調整と位相整合により、各サブ開口を通過する光束が共通焦点平面上で位相要求を満たすことにより、光場のコヒーレント重畳を実現し、そして、光開口と等価な単一の大開口系の回折分解能を実現する。圧電セラミック繊維位相変調器はリアルタイム位相補正に用いることができ、それにより、現実的には高品質なイメージングが可能である。

注意：画像はネットワークから

技術データ

推奨コントローラ

H 01.6 K-B 4光ファイバ位相変調器を駆動するE 53系圧電制御器を推奨します。シングルチャネル圧電コントローラで、電源24 VDC/1.5 A、帯域幅10 kHz、アナログまたはデジタル制御、オン/オフループを選択できます。コンパクトな構造で統合が容易で、小規模なアプリケーションのために開発されています

詳細については、0451-86268790、17051647888（WeChat IDでもあります）にお問い合わせください。

フェムト秒レーザエッチングにおける圧電ナノスキャナの応用！

フェムト秒レーザーとは？

フェムト秒レーザーは人間が実験室の条件下で得ることができる最短パルスであり、パルス形式で動作するレーザーであり、その持続時間は短く、わずか数フェムト秒（英語ではfemto-second、fsの略、1フェムト秒は千分の一秒）であり、電子方法で得られる最長パルスより数千倍短い。フェムト秒レーザ技術は近年急速に発展している先進的な加工技術であり、極めて高い加工精度と速度を持ち、ミクロンからナノスケールまでの様々な材料表面でエッチングと加工を行うことができる。

注：画像はネットワークから

フェムト秒レーザの特性

1.フェムト秒レーザーは実験条件下で得られる最短パルスであり、その精度は±5ミクロンである。

2.フェムト秒レーザーは非常に高い瞬時電力を有し、100兆ワットに達することができ、世界の総発電量の数百倍である、

3、物質はフェムト秒レーザーの作用の下で1種の非常に奇妙な現象を生むことができて、気体物質、液体物質、固体物質は瞬間的にプラズマになることができます；

4.フェムト秒レーザーは正確な照準と焦点を合わせる特徴があり、髪の毛の直径より小さい超微細空間領域に焦点を当てることができる。

5.フェムト秒レーザー手術、熱効果と衝撃波がなく、光路全体に組織損傷がない。

従来の連続レーザ及び長パルス幅ナノ秒及びピコ秒レーザと比較して、フェムト秒レーザ加工材料は以下の特徴を有する：

（1）ピーク電力が高く、材料の解離をもたらしやすい。

（2）熱効果が小さく、加工精度が高く、材料の精密加工に独特な優位性がある。

（3）応用範囲が広い。

レーザーエッチングの基本原理及び典型的な応用

1基礎知識

レーザーエッチングの基本原理は、高エネルギーレーザービーム（紫外線レーザー、光ファイバレーザー、フェムト秒レーザーなど）を非常に小さな点に焦点を当て、被加工材料の表面に照射し、レーザービームのエネルギーを熱エネルギーに変換し、材料を瞬間的に蒸発させ、穴、隙間などの加工効果を形成することである。

注：画像はネットワークから

2技術的特徴

レーザー非接触加工は柔軟性が高く、速度が速く、ノイズがなく、熱影響面積が小さく、極小スポットに焦点を当てることができるレーザー波長レベルなどの特徴がある。ドリル、スライス、エッチング、切断と加工品質の面での寸法精度、特にポリイミドなどの材料との相互作用は、「光化学」「冷間加工」に属し、炭化効果なしで冷間加工を行うことができます。

3典型的な応用

1）ガラス材料のレーザーエッチング

レーザーエッチングは再現性が良く、出力が大きく、材料の除去速度が速く、化学エッチング汚染がないなどの特徴がある。ITOコーティングレーザエッチングマシンは、レーザを用いてITOガラスとITOフィルムの表面にITOコーティングをエッチングする精密な装置である。ガラス、PET、ITO、多結晶膜などの酸化物膜上の各種寸法の高精度、高速エッチングに使用でき、各種規格の電極を加工することができる。電極エッチング技術は特に携帯電話のタッチスクリーンに適している。

注：画像はネットワークから

2）太陽電池レーザースクライブ

構造が合理的で、切断速度が速く、精度が高く、機能が多く、性能が安定して信頼性があり、非接触加工製品の故障率が低く、合格率が高く、応用範囲が広い。

注：画像はネットワークから

フェムト秒レーザエッチング用CoreMorrow P12A圧電スキャナ

レーザエネルギー、パルス幅、走査速度などのパラメータを精密に制御することにより、フェムト秒レーザエッチングは金属、ガラスなどの材料の精密加工とエッチングを実現することができる。フェムト秒レーザエッチングは、機械加工、化学エッチングなどの従来の加工方法に比べて高い加工精度と速度を有し、より微細なパターンとより複雑な構造への加工を実現することができる。同時に、レーザー加工は非接触加工であり、機械応力が材料に与える影響を回避し、損傷と誤差の可能性を低減することができる。

CoreMorrow P 12 Aシリーズの圧電スキャナーはプラットフォームとフェムト秒レーザーエッチング応用に固定することができ、制御信号の作用の下で、負荷された金属、ガラスなどの材料にX、Z、XY、XZ、XYZなどの運動エッチングを行う。P 12 Aシリーズの圧電スキャナーには高解像度センサーが搭載されている。位置はリアルタイムで検出され、圧電コントローラにフィードバックされ、その後、コントローラはPIDアルゴリズムにより電圧を調整して変位を補正し、ナノスケールの高精度な位置決めを実現した。

技術データ

推奨コントローラ

E70圧電制御器

E70圧電コントローラは3チャンネル圧電コントローラであり、シリアルポート、USBまたはネットワークポートを通じてデジタル通信を行うことができる。出力電圧は0 ~ 120 V/150 Vであり、出力帯域幅は10 kHzを超え、体積が小さく、集積しやすい。

E00/E01圧電制御器

E00/E01圧電コントローラもP 12 A圧電スキャナを駆動する良い選択であり、シングルチャネル、マルチチャネル、オープンリング、クローズリングモデルがあります。E 00/E 01はアナログ、デジタルなどの方式で制御することができ、モジュールを自由に組み合わせて、CoreMorrowなどの輸入圧電製品を駆動することもできる。

詳細については、0451-86268790または17051647888（ウィーチャットID）に電話してください。

Z運動大負荷圧電ナノポジショニングスキャナ-P 70.Z200

P70.Z200圧電スキャナは、体積が小さく、ストロークが大きく、負荷が大きいZモーションスキャナである。機構増幅原理を採用し、高信頼性圧電セラミックス駆動の無摩擦フレキシブルヒンジガイド機構を内蔵している。対物レンズやサンプルを駆動してナノ精度のZ方向昇降運動を実現する中心貫通孔があり、ストローク範囲は200μm、積載力は500gに達することができる。内蔵センサーはフルブリッジモードで接続され、ドリフトがなく、ナノメートル範囲の正確な位置決め、閉ループ分解能6 nm、繰り返し位置決め精度0.02%F.Sを実現できる。製品は顕微鏡イメージング、光学検査、バイオテクノロジー、画像処理などの分野に広く応用されている。

小体積中心貫通孔設計

P70.Z200圧電スキャナのサイズは小さく、φ10mmの中心貫通孔があり、寸法は下図のようになっている。

簡単なロードインストール‘’

P70.Z200圧電スキャナーは、対物レンズやサンプルなどの負荷を取り付けやすくするために、中心部に負荷ねじ穴を備え、最大負荷能力は500 gである。標準荷重はねじW 0.8×1/36”に適しており、ねじ寸法はユーザーのニーズに応じてカスタマイズすることができる。

閉ループ高速ステップ

P70.Z200圧電スキャナの閉ループ空荷重ステッピング時間は20 msで、200 g負荷の場合、ステッピング時間は30 msに達することができ、応答速度は速い。

典型的な用途

01ケージ構造に適用

CoreMorrow P70.Z200圧電スキャナーにはケージ構造取付貫通孔があり、ケージ構造に直接集積することができる。ロードされた対物レンズと一緒に使用して、ナノスケールのZ軸線形運動を調整し、対物レンズの焦点を合わせた後に焦点とサンプル間の距離を正確に調整することができます。

02顕微鏡像

高分解能顕微イメージング技術にとって、圧電スキャナはその不可欠な部分であり、対物レンズやサンプルを携帯してZ方向焦点やサンプルの位置調整を行うことができ、イメージングの鮮明度を大幅に向上させ、その精度はナノメートル級に達することができる。また、圧電スキャナは電気信号によって制御されるため、フォーカス速度が速く、応答速度がサブミリ秒またはミリ秒に達することができる。

注意：画像はネットワークから

03バイオテクノロジー

生物医学技術の急速な発展に伴い、精密位置決め技術もこの分野に広く応用されている。例えば、染色体切断、細胞分離、細胞融合、ナノ分配、マイクロ流体など、位置決め部分は圧電スキャナーに応用でき、圧電スキャナーはその超高解像度、位置決め精度、耐干渉能力を利用して正確に位置決めすることができる。

注意：画像はネットワークから

技術データ

推奨コントローラ

E53.D1S圧電コントローラはP70.Z200圧電スキャナの駆動に最適です。小型、大電力、低消費電力、高帯域幅、低リップルノイズの単一チャネル圧電セラミックコントローラです。コントローラは専用演算増幅器回路を採用し、高電圧、大電流の出力能力を保証し、そしてセンシングサーボモジュールを最適化することによって、PI調整制御の精度と安定性を高めた。信頼性の高い耐干渉設計により、コントローラの高周波応答速度が確保されます。

詳細については、CoreMorrowにお電話ください0451-86268790/1705167888（ウィーチャットID）

半導体薄膜堆積における圧電ナノスポーツ製品の応用！

随着半导体产业的不断发展，半导体芯片制造产业不断先进，其工艺水平直接决定了芯片生产的质量和效率。薄膜沉积是芯片制造的核心工艺之一，是决定薄膜性能的关键。其作用是通过物理或化学方法在晶圆表面反复沉积金属薄膜（铝、铜、钨、钛等）和氧化物（二氧化硅、氮化硅等）。薄膜的厚度从纳米到微米不等，可以对这些薄膜进行光刻、蚀刻等工艺，最终形成各层的电路结构。

薄膜堆積装置は異なるプロセス原理に基づいてPVD、CVD、ALD装置に分けられ、それぞれ物理蒸着（PVD）、化学蒸着、原子層堆積（ALD）の3つのプロセス原理に対応する。

注：画像はインターネットから

注：画像はインターネットから

チップの製造過程で使用されるウェハのサイズが増加するにつれて、最小特徴サイズが減少し、これは薄膜の性能パラメータの細分化に対する要求を大幅に増加させた。均一性、段差被覆率、溝充填度はフィルム堆積品質を測定する重要な指標となり、これにはフィルム堆積設備が超精密移動部品を集積し、ウエハ表面にフィルム堆積を実現し、製造技術の改善、良品率の向上を支援することが求められている。

注：画像はインターネットから

薄膜堆積装置におけるCoreMorrow圧電ナノスポーツ製品の応用

1.薄膜の厚さと均一性を制御する：CoreMorrow圧電アクチュエータは微小な振動を発生させることによって薄膜の堆積速度と均一性を制御することができ、それによって高品質の薄膜堆積を実現する。

2.堆積速度の向上：CoreMorrow圧電アクチュエータは高周波振動を発生させることにより堆積速度を向上させ、堆積時間を短縮し、生産効率を向上させることができる。

3.薄膜品質の向上：CoreMorrow圧電アクチュエータは薄膜表面の微細構造と結晶構造を制御することにより薄膜の品質を向上させ、半導体装置の性能を向上させることができる。

4.ナノスケール加工を実現：CoreMorrow圧電アクチュエータはナノスケール振動を発生させることによってナノスケール処理を実現することができ、例えばナノワイヤ、ナノ細孔、その他のナノ構造を製造することができる。

5.ウエハ、加熱ディスク、スプレープレートの位置を調整し、同心にする：CoreMorrow圧電ナノポジショニングテーブルはX、Y、Z単軸または三軸運動ができ、解像度はミリメートルに達する。高精度センサを採用し、プラットフォームはナノメートルレベルの分解能を実現でき、位置決め精度は高信頼性である。ウエハ、ホットプレート、およびインジェクションプレートの位置は、同じ軸上に保持するために水平または垂直に調整することができる。

6.加熱盤の多角運動は薄膜堆積をより均一にする：CoreMorrow圧電先端/傾斜台は圧電セラミックドライバによって正確に調整することができる。それは非常に高い偏向精度と安定性を持ち、応答速度が速く、加熱盤を薄膜堆積中に多角度または回転運動させ、加熱盤を噴霧板と任意の角度位置で行うことができ、薄膜堆積をより均一にすることができる。

CoreMorrowの標準モデル

薄膜堆積装置の重要な部品は真空システムであり、ウエハ薄膜堆積は真空環境で行う必要があり、CoreMorrow圧電ナノスポーツ製品は真空バージョンとその他のパラメータ、例えば運動軸、ストローク、負荷能力、動作周波数、開口などを含むユーザーの環境に応じてカスタマイズすることができる。

詳細については、0451-86268790170516747888（ウィーチャットID）にお電話してCoreMorrowにお問い合わせください。

適応光学、バッチ位相変調、表面成形用途に適したカスケード圧電コントローラ！

モジュラー型E 70圧電セラミックコントローラは、高出力、低消費電力、高帯域幅、低リップルノイズを有するコントローラである。専用演算増幅器回路を採用し、高電圧、高電流の出力能力を保証し、そしてセンシングサーボモジュールを最適化することにより、PI調整制御の精度と安定性を高めた。信頼性の高い耐干渉設計により、コントローラの高周波応答速度が確保されます。

ユーザーは必要に応じてカスケード・モジュールの数を自由に選択できます。1つのモジュールには3つのチャネル/モジュールがあり、最大32のモジュールをカスケードできます。コントローラはDC 24 V電源を採用しており、外部アナログ信号やRS-422インタフェースによるデジタル通信により制御することができる。オン/オフループがあり、PZTとセンサミニインタフェースが統合されており、接続が容易で、外部制御機能を設定でき、操作が容易です。

特徴

•モジュール化されており、モジュール数を自由に選択できる

•デジタルおよびアナログ制御

•6～96チャネルが自由に選択可能

•サーボ制御電源

アプリケーション＃アプリケーション＃

01駆動圧電雲台

モジュラー型E 70圧電セラミックコントローラを用いて圧電チップ/傾斜ステージを駆動することができる。コントローラには各モジュールに3つの出力チャネルがあり、最大32個のモジュールをカスケードすることができます。32個のスイングミラーを同時に駆動し、反射ビームの方向を変更し、ビームを調整することができます。

02適応光学

変形可能なミラーの主な用途は適応光学であり、これは最も一般的な波面補正器タイプである。圧電変形ミラーは、天文望遠鏡、レーザー加工、生物顕微鏡、レーザー通信などの対応する高速、高解像度、大変形ストロークなどの特性により、適応光学技術に広く応用されている、その範囲は数から数十万まで様々である。圧電セラミック製のアクチュエータを駆動することにより、異なるサブ開口の方向を変えることにより反射光の方向を変え、波面補正の目的を達成する。

03フェーズアレイアンテナ

モジュール化E 70圧電セラミックコントローラは、各モジュールに3つのチャネルがあり、各チャネルは1つの圧電セラミックアクチュエータを駆動することができ、32のモジュールは96個の圧電セラミックアクチュエータを駆動することができ、これらのアクチュエータは位相制御アレイアンテナに応用でき、圧電セラミックアクチュエータを駆動することにより変形を発生することができ、アンテナ反射器の変形を実現することができる。

04 PZT位相変調

PZT圧電セラミックに電圧を印加ことにより、圧電セラミックアクチュエータは伸長又は収縮変形を生じ、それによりPZT圧電セラミックアクチュエータに巻回された光ファイバに引張効果を生じ、それにより光ファイバの長さ及び光ファイバ内部の屈折率の分布を変化する、光ファイバ内部を伝送する光波を位相変調する。

回転数データ

詳細については、CoreMorrowにお問い合わせください。0451-86268790、17051647888（ウィーチャットID）

CoreMorrow N56リニア圧電モーター、1 ~ 6軸運動、ストローク範囲は50 mmに達することができます！

CoreMorrow N56リニア圧電モーターは圧電マイクロ駆動技術を採用し、圧電マイクロ変位アクチュエータを利用して高精度の位置決めと運動技術を実現した。圧電アクチュエータの電界作用下の微変形を機械的構造変換することにより、微運動線形ミリ段ストロークを実現した。

リニア圧電モーターの概略図

N56圧電モーターは体積が小さく、精度が高く、ストロークが大きいという利点がある。ストローク範囲は50 mm、速度は3 mm/s、解像度は0.05μmに達することができ、電源遮断オートロック機能を持っている。閉ループ制御センサとしてラスタセンサを選択することができ、高精度な位置決めを実現することができる。このモーターには、真空環境での使用に適した真空バージョンもあります。また、CoreMorrowは、さまざまな旅行や精度要件を満たすためのカスタマイズサービスを提供することもできます。

動画

特徴

1. Optioの10 mm、20 mm、30 mm、50 mmストローク範囲

2. 休憩中にセルフロック

3. 1 ~ 6軸運動バージョンを提供

4. 10 ^-6または10 ^-9 mbar真空バージョンを選択可能

アプリケーション＃アプリケーション＃

N56リニア圧電モーターは小負荷、大ストロークナノポジショニング、科学研究、光ファイバドッキング、マイクロ加工、原子間力顕微鏡、半導体精密ポジショニングとマイクロナノ操作などの分野に広く応用できる。

技術データ

推奨コントローラ

CoreMorrowが開発・生産したE 53.D 1 E/C 1 K-J圧電制御器はN 56モータを駆動するための優れた選択であり、デジタル制御を採用した1チャネル圧電制御器である。体積が小さく、105×103×30.1 mm ^ 3しかなく、構造がコンパクトで、集積しやすい。

詳細については、CoreMorrowにお問い合わせください。0451-86268790、17051647888（ウィーチャットID）