随着半导体产业的不断发展,半导体芯片制造产业不断先进,其工艺水平直接决定了芯片生产的质量和效率。薄膜沉积是芯片制造的核心工艺之一,是决定薄膜性能的关键。其作用是通过物理或化学方法在晶圆表面反复沉积金属薄膜(铝、铜、钨、钛等)和氧化物(二氧…
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