半導体産業と製造プロセスの発展に伴い、ウェハ品質検査は効率と精度に対してより高い要求を提出した。欠陥を正確に捕捉することは非常に重要であり、特にウエハは半導体チップ製造の基本部品である。ウエハ品質の検出は超精密機器の測定に高度に依存しているため、レーザー共焦点顕微鏡はウエハ品質の検出を実現するために用いることができ、製造技術の改善、良品の生産量の向上に役立つ。
レーザー共焦点顕微鏡はレーザーを光源とし、共役焦点装置を用いている。レーザービームは分光器を通じて照明ピンホールを通じて対物レンズに反射され、対物レンズを搭載した圧電対物レンズスキャナは正確に位置決めされ、サンプルに焦点を合わせて、サンプルの焦点平面上の各点をスキャンする。組織試料中に励起可能な蛍光物質が存在する場合、励起後に放出された蛍光は元の入射光路を通じて直接分光器に逆回転し、ピンホールを検出する際には、まず負荷対物レンズを備えた圧電対物レンズスキャナを通じて集光された光を集光する。焦点を合わせた光は光電子増倍管（PMT）によって検出され収集され、信号はコンピュータに伝送され、処理後の画像はコンピュータモニタに表示される。サンプルを非破壊的に観察し、コンピュータ画像処理によりサンプルの3次元空間構造を分析した。この応用では、圧電対物レンズスキャナは2回の焦点合わせの役割を果たし、ロードされた対物レンズを通じてZ方向ナノスケールの位置決め精度を調整し、焦点精度をより高くし、画像をより鮮明にする。
CoreMorrow圧電対物レンズスキャナ
CoreMorrow圧電対物レンズスキャナは無帰還誤差フレキシブルヒンジ並列ステアリング機構を用いて設計され、対物レンズ補償量が小さい。対物レンズスキャナーは超高い焦点安定性を持ち、マイクロ検出/測定または観察装置を搭載し、対物レンズの焦点を駆動して精度を高め、解像度はナノメートル級に達することができ、蔡司、ニコン、オリンパス、徂徠カードなどの標準レンズとマッチングすることができる。
