圧電投影スキャナーとは？
圧電対物レンズスキャナは、対物レンズフォーカス顕微鏡のために設計されています。非回帰可撓性ヒンジ並列操舵機構を採用し、補償量が小さく、焦点安定性が高い。顕微鏡検査/測定または観察装置付きの圧電対物レンズスキャナは、対物レンズの焦点を駆動し、Z軸運動を調整することができる。さまざまな高分解能顕微鏡と組み合わせて使用することができ、対物レンズの焦点精度をナノスケールに高めることができます。
高負荷圧電対物レンズスキャナの応用
大負荷圧電対物レンズスキャナーは大きな負荷容量を持ち、最大900 g以上であり、重負荷圧電目標スキャナーに使用できる。
1.レーザーウエハのステルス切断
レーザーウエハのステルスカットは、レンズを介してレーザーを集束し、次に圧電対物レンズスキャナーを介して焦点の位置を正確に調整し、ウエハの切断すべき部分に焦点を正確に位置決めする。切断される部品の温度は急速に上昇し、溶融または蒸発する。レーザー光と切断材料の相対運動により、切断材料に複数の点が形成される。
2.通常の顕微鏡の焦点精度の向上
圧電対物レンズスキャナの微調整距離は、圧電コントローラによって制御することができる。圧電コントローラの可変出力電圧は、圧電対物レンズスキャナのゼロから全ストローク変位に対応し、両者は線形関係にある。圧電対物レンズスキャナの微調整距離は、圧電コントローラの可変出力電圧を変化させることにより制御することができる。通常の顕微鏡ハンドホイール調整に比べて、焦点精度はナノメートルレベルに達している。
3.超解像度顕微イメージングへの応用
顕微光学イメージングとは、サンプルで反射された可視光から微小サンプル画像を拡大する技術を指す。超分解能顕微鏡は、新興の光学顕微鏡を記述するための広義の概念である。従来の光学顕微鏡は100ナノメートルの解像度に達することができるが、この超解像技術はより高い解像度、さらには数十ナノメートルに達することができる。SR顕微鏡は特定の蛍光プローブ特性を用いて、2つの緊密に間隔を置いた蛍光源から放出された光子を分離し、それによってそれぞれ画像化し、回折制限を回避し、ナノ世界中の細胞の動的効果を観察することができる。
誘導放出損失顕微鏡、光活性化位置決め顕微鏡、ランダム光再構成顕微鏡などの新しい超解像技術は、100 ~ 200 nmから低解像度に低下している。ナノ解像度を有する圧電対物レンズスキャナは、これらのアプリケーションの理想的な選択肢である。顕微鏡と試料台のアライメントには正確で迅速な移動が必要である。高分解能圧電セラミックを用いた圧電対物レンズスキャナは、独自の超精密技術サポートを提供することができる。
4.レーザーリソグラフィ、光ディスクデータ記憶
リソグラフィプロセスとは、電動プラットフォーム上に配置されたリソグラフィ基板が電動プラットフォームの回転に伴って移動することを意味し、音響光学変調器は異なる線量でリソグラフィを露光するためにビーム強度を制御する。通常、電動プラットフォームの位置決め精度はミクロンまたはサブミクロンレベルに達する。しかし、慣性、静摩擦、緩みによる電動プラットフォームのピッチ誤差と偏差は、システムの性能とリソグラフィ素子の品質に直接影響を与える。CoreMorow圧電対物レンズスキャナはナノレベルの精度、安定した性能と便利な操作を持ち、リソグラフィ装置における走査運動プラットフォームの理想的な選択である。
5.白色光干渉と3 D端面検出
白色光干渉技術は可視光を光源とする。光源から放射された白色光は干渉対物レンズを通過した後、半透過光学平面で半分の光強度を反射し、他の半分の光強度は被測定物の表面に透過して照射し、再び干渉物レンズに反射し、これは元の光学面における反射光と干渉する。CoreMorow圧電対物レンズスキャナを採用し、精度はナノスケールの分解能に達することができる。
現在、光ファイバ端面の測定には通常、光干渉法が用いられている。光学干渉は空間中のコヒーレント光の出会いに基づいており、異なる領域で増強または減弱し、安定した強弱分布を形成する。三次元干渉計システムはこの原理に基づいて設計された。干渉縞はCCDカメラで観測でき、CoreMorow圧電対物レンズスキャナは干渉対物レンズを移動させて位相移動を発生させるために使用され、CCDカメラで測定された画像は画像カードを介してコンピュータに転送されて分析処理される。CCDカメラは、ステップごとに干渉縞を読み取り、干渉縞の分布から端面形状を計算する。
CoreMorrow大負荷圧電対物レンズスキャナ
詳細については、CoreMorrowにお問い合わせください。0451-86268790、17051647888（ウィーチャットID）
