FSMは非常に複雑な機器であり、単軸から多軸の角度偏向調整に使用でき、解像度はナノラジアンに達する。
FSMの構造は内部圧電セラミックスの選択から、内部と外部構造の設計、さらに構造の加工まで、圧電セラミックスのサイズ、性能、信頼性、構造など、多くの面で高い要求がある。原理、使用する材料、加工精度。また、いくつかの特殊な応用に対して、耐震補強構造を設計し、耐震強度は10 ~ 12 gR.M.Sである、低温真空環境用に設計された低温真空互換FSMも存在する。
FSMの性能は非常に良く、優れた性能を実現するためには、インストール中にFSMの表現を抑制しないために、いくつかの基本的な問題に注意しなければなりません。
次に、CoreMorrow製P 33シリーズFSMを例に、インストール時に注意すべき点を紹介します。
設置前に、まず接続線の状況などの安全性を検査し、接続線の完全性を確保し、漏電のリスクを回避する。また、外観をチェックし、外観に傷がなく、明らかな衝撃がないことを確保しなければならない。
荷重取付方法
FSMの負荷は通常、レンズまたは他の光反射部材であり、レンズアダプタは2つの方法でレンズを取り付け、接着し、または選択することができる。
1）接着
レンズを接続する前に、レンズの接着面をクリーニングし、エポキシ樹脂で接着し、レンズの接着面からこぼれないように接着剤を均一に塗布します。レンズを貼り付けてしばらくお待ちください。
レンズ接着剤をフレキシブルヒンジの隙間に滴下したり、精度や機器の損傷に影響を与えないように他の移動を阻害したりしないことを覚えておいてください。
2）機械的取り付け
レンズアダプタはレンズのアダプタ取り付けにも使用できます。アダプタはレンズのタイプに合わせてカスタマイズできます。アダプタは、図に示すように、FSMの移動端にネジで固定されています。
負荷取付位置
1.レンズ荷重を取り付ける場合、レンズ品質がFSMの荷重範囲内であることを確保し、レンズをできるだけ移動面の中心に取り付ける。以下に示す。
2.FSMを損傷から保護するために、負荷が高すぎないことをお勧めします。より高い荷重を使用する必要がある場合は、荷重の重心位置を下げます。誤った配置方法を下図に示します。
3.下の図に示すように、荷重を運動台の側面に取り付けることを禁止します。
