P92.X40高速工具位置決め台は高圧圧電セラミックスにより駆動される。駆動電圧は0 ~ 1000 Vで、出力電力は3000 Nに達することができる。高速工具位置決めプラットフォームは1次元X方向微送り運動を発生でき、送り範囲は40μmに達することができ、閉ループセンサを集積し、操作中の制御電圧と変位の線形関係を確保する。また、その機械構造は強固であり、放熱インタフェースを備えている。
特徴
・ストローク範囲40μm
・駆動電圧：0 ~ 1000 V
・3000 Nまで遮断力
・閉ループ分解能が10メートルに達する
・放熱機能付き
技術パラメータ
型番：P 92.4 X 40
ストローク範囲（0-800 V）：32μm
ストローク範囲（0-1000 V）：40μm
センサ：SGS
閉塞力：3000 N
運動方向剛性：100 N/μm
空荷重共振周波数：3975 Hz
閉ループ線形度：<0.1%F.S
閉ループ反復性：<0.1%F.S
閉ループ分解能：10 nm
容量：540 nF
材料：鋼
かいループへんいきょくせん
閉ループ精度曲線
閉ループ解像度曲線
りとくきょくせん
いそうきょくせん
おんどじょうしょう
1.@1kHz 1μm
2.@500Hz 5μm
3.@200Hz 400V
