科学、技術、産業の急速な発展に伴い、精密測定器の分解能、精度、安定性はますます高くなることが求められています。 非接触精密測定器として、超精密キャパシタンスマイクロメータは、優れた温度安定性、高い測定精度、優れた動的応答、シンプルな構造、優れた安定性と信頼性、使いやすさなどの多くの利点を持ち、非接触測定を実現できます . 現在、静電容量マイクロメータは、航空宇宙、航空、自動車、工作機械、光学デバイス処理、半導体およびその他の産業用計測および制御分野で広く使用されており、主にさまざまな媒体のフィルムの厚さ、金属の変形、小さな変位、小さなものを測定するために使用されています 開口部や各部の形状誤差。
高精度モーションコントロールシステムのリーダーとして、ナノスケールの変位の実現と検出に対するさまざまな業界の要件を満たすために、CoreMorrow は静電容量センサーを開発および設計し、現在、製品が正式に販売されています!
静電容量マイクロメータの利点
良好な安定性
静電容量センサーの静電容量値は通常、電極材料に依存せず、誘電損失が小さく、熱自体が小さいため、安定性は非常に良好です。
シンプルな構造と強い適応性
静電容量式センサはシンプルな構造で、過酷な環境下でも導体・半導体を問わず測定できます。 コンパクトで、スペースに制約のある環境でのアプリケーションに適しており、高温および低温、強い放射線と強い磁場、およびその他の過酷な環境でも機能します。 磁性体の測定も可能です。
良好な動的応答
静電容量センサーはキロヘルツで振動測定を実行でき、解像度はキロヘルツ以上で最大数十ナノメートルまで可能です。
非接触測定
静電容量センサーは非接触測定を採用しているため、テスト対象の部品に表面摩擦やその他の影響を与えることはありません。
上記の利点に加えて、電極板間の静電引力は非常に小さいため、静電容量センサーの入力エネルギーは非常に小さく、非常に低い圧力、力、および非常に小さな加速度の測定など、低エネルギー入力測定に特に適しています 、変位。 非常に高い解像度で、ナノまたはサブナノの変位を感じることができます。
原理
静電容量センサーは、理想的な平行板コンデンサの原理に基づいています。 媒体として空気を使用し、センサと反対側の測定対象物が 2 つの電極を形成します。 エッジ効果を無視すると、プレート コンデンサの静電容量は次のようになります。
式中、「ε」は電極間媒体の誘電率、「A」は 2 つの電極板によってカバーされる有効面積、「h」は 2 つの電極間の距離です。
被測定物の上下の変位（hの変化）や左右の変位（Aの変化）により静電容量が変化します。 この静電容量の変化は、測定回路によって電圧、電流、周波数などの電気信号出力に変換できます。 出力信号に応じて、移動物体の変位の大きさを測定することができ、微小変位、微小サイズおよび振動の測定を実現することができます。
したがって、測定量「h」、「A」、「ε」が変化すると、3つのパラメータのいずれかが変化すると静電容量が発生します。 そのうちの 2 つを変更せず、一方のパラメータを変更するだけで、静電容量の変化に変換でき、測定回路によって電圧出力に変換できます。
CoreMorrow 静電容量マイクロメーター
CoreMorrow は、ナノスケールの精密位置決め製品の研究開発、製造、販売に重点を置いています。 サブナノメートルの解像度とナノメートルの位置決め精度を実現するために、精密位置決め技術ソリューションとシリアル化された製品を国内外の顧客に提供しています。 現在、設計・開発された静電容量センサーは、圧電ナノポジショニング製品に適用でき、一連の静電容量マイクロメーター製品も利用できます。
CoreMorrow 静電容量センサーは、理想的な平行板コンデンサの原理に基づいています。 センサーと反対側の被測定物は2つの電極を形成します。 ガード リング コンデンサの原理は、測定時にセンサーが依然として線形であることを保証するために使用されます。
E09.Cap静電容量非接触マイクロメーターは、静電容量プローブを介して0〜500μmの範囲の小さな変位を測定でき、測定精度はナノメートルレベルです。 マイクロメータはシャーシとセンシングモジュールで構成され、マルチチャネル測定を形成できます。
モジュールの組み合わせ
CoreMorrow 静電容量センサーのセンサー信号取得モジュールはモジュール設計を採用しており、各モジュールは静電容量センサーに対応し、1 対 1 のキャリブレーションを実行します。
E09.CAP センサー信号取得モジュール
センサー信号取得モジュールは、E01 または E00 シャーシに統合されています。 E01 シャーシは最大 6 個の E09.CAP センサー信号収集モジュールをサポートし、E00 シャーシは 12 個の E09.CAP センサー信号収集モジュールをサポートします。
そのため、静電容量マイクロメータの標準品は1～12チャンネルから選択でき、リソグラフィーなどバルク静電容量センサを用いて測定する用途に適しています。
静電容量プローブ
この静電容量式センサのプローブは、外径わずかφ10mm、高さ18.5mmと小型です。 測定対象物の最小径は10mmで、非接触測定です。
技術データ
E09.CAP 静電容量センサーの基本的な技術パラメーターは次のとおりです。
注: 詳細と価格については、地域のセールス マネージャーにお問い合わせください。
典型的なアプリケーション
静電容量センサーの高精度により、振動検出、振幅検出、変形検出、精密製造、サイズ検出、サイズスクリーニング、変位検出、絶縁体の厚さ検出、材料検出などに広く使用されています。
結論
超精密静電容量マイクロメータは、小さな変位と振動を精密に測定するための非接触測定器であり、温度安定性が高く、測定精度が高く、動的応答が良好で、構造が単純であるという利点があります。
静電容量センサーのプロモーションにより、CoreMorrow 製品カテゴリが充実し、これはさらに大きな前進を意味します。 将来、CoreMorrow は、大切なユーザーのために、より優れた、より洗練された、より小さなナノモーションおよび検出製品を提供するために、より多くの研究開発を続けます!
静電容量センサー アプリケーションおよびカスタマイズされた測定機器の要件がある場合は、さらにコミュニケーションと理解を深めるためにお問い合わせください。
