200μm 変位の P18 ピエゾ ステージと、0~10V アナログ入力および 0~120V 出力の E53 ピエゾ コントローラを例として、ピエゾ システムのアナログ制御モードの操作方法を紹介します。アナログ制御モードでは、実験室で一般的に使用される関数信号発生器など、…

1.ピエゾナノポジショニングステージの紹介 CoreMorrow P60 シリーズのピエゾ ナノポジショニング ステージを例に紹介します。 P60シリーズには複数のモデルバージョンがあり、一部のモデルの外観を下図に示します。 高性能ピエゾアクチュエータ採用 CoreMor…